[09/19] 【オンラインLive配信・WEBセミナー】次世代半導体パッケージの実装・チップレット集積技術の動向と課題および高精度研削・エッジトリミング技術
開催日時:2025年09月19日(金) 13:00-16:50
¥55,000 (税込)
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- 主催:(株)AndTech
【オンラインLive配信・WEBセミナー】次世代半導体パッケージの実装・チップレット集積技術の動向と課題および高精度研削・エッジトリミング技術
■日時:2025年09月19日(金) 13:00-16:50
■会場:※会社やご自宅のパソコンで視聴可能な講座です
※ お申込み時に送られるWEBセミナー利用規約・マニュアルを必ず、ご確認ください。
■定員:30名
■受講料:55,000円(税込、テキスト費用を含む)
※複数でのご参加を希望される場合、お申込み追加1名ごとに16,500円が加算となります
■主催:(株)AndTech
■講師:
第1部 東京工業大学 科学技術創成研究院 未来産業技術研究所 特任教授 栗田 洋一郎 氏
第2部 NEP Tech. S&S ニシダエレクトロニクス実装技術支援 代表 西田 秀行 氏
第3部 株式会社ディスコ 技術開発本部/Principal Technology Coordinator 張 秉得 氏
■プログラム:
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第1部 チップレット集積技術の現状と最新動向
【講演主旨】
※現在、講師の先生に最新のご講演主旨をご考案いただいております。完成次第、本ページを更新いたします。
【プログラム】
※現在、講師の先生に最新のご講演プログラムをご考案いただいております。完成次第、本ページを更新いたします。
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第2部 次世代半導体パッケージング,チップレット集積の現状と課題
【講演主旨】
5G時代から6Gへ、AI時代の本格的到来の中、高速・大容量通信/データ処理がもとめられるデジタル型社会において必要不可欠とされる半導体、その実装技術に焦点を当て、現状と課題を探る。
実装技術の変遷、5G~6G時代に求められるコアテクノロジー、FOWLPや2.xD(2~3.5D)などの新しいパッケージング技術について、事例を紹介しながら解説する。
ムーアの法則、半導体の微細化による性能向上の限界が危惧されている中で、飛躍的に増大するテータ・情報量に対応すべく、HPC(High Performance Computing)やAI対応のソリューションとして注目を集めている、Multi-Die Solution/Chip-let集積について、その現状と課題について考察する。 課題としての、更なる性能向上のためのパッケージの大型化要求とガラス基板の提案や光電融合の取り組みなどについて紹介する。
System Integrationの本命はSoC(ワンチップ化)か、Multi-Dieか、Silicon-Dieの分割/小形化、Chip-let集積の採用で期待される効果などを解説し、事例を紹介しながら、課題について検討する。 silicon基板か,ガラス基板か,あるいはRDLか、チップレット集積において重要な役割を果たすインターポーザ技術について現状の取り組みを紹介する。
6G時代の到来を見据え、加速する『デジタル化社会』における我が国(日本)の取り組みに焦点を当て、半導体および関連産業の重要性について考える。
【プログラム】
1.背景(はじめに)
1-1 5Gから6Gへ、AI時代の到来
1-2 情報爆発/処理データの増大と、半導体に求められる性能向上
1-3 半導体微細化限界? More-MooreかMore-Than-Mooreか
2. エレクトロニクス産業/半導体実装の現状
2-1 実装技術の変遷と現状
2-2 業界の水平分業化
2-3 実装技術の役割とは、System Integration
3. チップレット集積の現状と課題
3-1 チップレットとは
3-2 チップレットに期待される効果
3-3 チップレットの現状(事例)
3-3-1 Intel
3-3-2 Samsung
3-3-3 TSMC
3-3-4 AMD
3-3-5 nVIDIA
3-3-6 Fujitsu/RIKEN
3-3-7 Apple
3-3-8 IBM
3-3-9 Huawei
3-4 チップレットの課題
3-4-1 Interposer Technology
3-4-2 Interconnection Technology
4. まとめ(おわりに)
【質疑応答】
【キーワード】
3D-IC, So-IC, 2.xD(2~3.5D), CoWoS, Chiplet集積, Glass (Core) Panel, Hybrid Bonding,
BSPDN/裏面電源供給
【講演のポイント】
国内の状況だけではなく、業界全体、Globalな視点から、最新の動向を調査し、情報を提供する。
講師の過去の経験(Flip Chip/Bare Die Packaging, MCMの研究/開発など)を基に、実用/量産を念頭に、 Practical/Profitable な 考え方を基本とした、解説を行う。
【習得できる知識】
“Chiplet” の概念、Chiplet集積で期待される効果などに関する基本的な理解ができる。
今後、5年後、10年後の電子デバイス/半導体パッケージに求められることは何か、そのためにはどのような対応が必要か、Globalな観点から、現状を把握し、これからの展望と、何をやらなければいけないか、何ができるかについて、検討するための情報を共有する。特に、産業界で重要視されている、“PPACt”(Power, Performance, Area, Cost, time to market)の観点から、重要視すべきポイントが理解できる。
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第3部 先端半導体デバイス向けの高精度の研削技術とエッジトリミング技術
【講演主旨】
近年、ロジックやメモリ等の先端の半導体デバイスおいて、Hybrid Bonding 技術(Cu-Cu ダイレクト接合)を使った W2W 又は D2W の貼り合わせ構造を持つ開発が注目を集めている。本講演では、これらのデバイス製造に必要な高精度の研削技術とエッジトリミング技術について紹介する。
【プログラム】
・DISCOのKKM(Kiru、Kezuru、Migaku)技術の概要
・先端パッケージのトレンドとそのパッケージが求めるもの
・研削加工
- 研削メカニズム
- 加工方式(インフィード研削、クリープフィード研削)
- 研削後のダメージ除去方法
- 2軸構成と3軸構成の研削装置、3軸の使い方
- 仕上げ厚み制御の方法
- ウェーハ面内の厚みバラツキの改善方法
- 先端パッケージ別の研削形態
・エッジトリム加工
- エッジトリムメカニズム
- エッジトリムのタイミング
- トリムの精度向上の方法
・まとめ
【質疑応答】
【キーワード】
研削、研磨、エッジトリム、エッジトリミング、Hybrid Bonding、Chiplet、Grinding, Back grinding, Edge trim, Edge trimming
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